Der Baggerdrucksensor ist der am weitesten verbreitete Sensor. Er ist ein allgemeiner Begriff für die Erkennung von Gasen, Flüssigkeiten, Feststoffen und anderen Substanzen zwischen der induktiven Kraftenergie und umfasst auch
Manometer, die den Luftdruck oben messen, und Vakuummeter, die den Luftdruck unten messen. Es gibt viele Arten von Kraftsensoren. Die herkömmliche Messmethode besteht darin, die Verformung und Verschiebung elastischer Elemente anzuwenden, um die Wartung eines elektrischen Einspritzmotors auszudrücken. Sein Volumen ist jedoch groß, unhandlich und der Ausgang ist nichtlinear. Mit dem Wachstum der mikroelektronischen Fähigkeiten, der Anwendung von Halbleitermaterialien mit piezoresistivem Effekt und überlegener Elastizität, der Entwicklung von Halbleiter-Kraftsensoren, wichtigen piezoresistiven und kapazitiven Silizium-Sensoren, haben sie geringe Größe, geringes Gewicht, hohe Empfindlichkeitsvorteile und werden häufig in der Halbleiterkraft eingesetzt Sensoren. Wenn ein Halbleiter auf einen Kristall nach oben gedrückt wird, ändert sich sein spezifischer Widerstand. Die Beziehung zwischen der Änderung des spezifischen Widerstands des Leiters und der Spannung wird als piezoresistiver Halbleitereffekt bezeichnet, und der aus diesem Effekt resultierende mechanische Größensensor wird als piezoresistiver Kraftsensor bezeichnet. Es gibt zwei Arten: Der eine ist der Sensor, der aus dem aufgeklebten Halbleiter-Dehnungsmessstreifen besteht elastisches Element, das als geklebter piezoresistiver Sensor bezeichnet wird. Der andere ist der Diffusionswiderstand, der durch integrierte Schaltkreistechnologie auf dem Substrat aus Halbleitermaterial hergestellt wird, sodass der Dehnungsmessstreifen und das Siliziumsubstrat den gleichen Gesamtsensor bilden, der als piezoresistiver Diffusionssensor bezeichnet wird. Es zeichnet sich durch hohe Empfindlichkeit, hohe Präzision, geringe Größe, geringes Gewicht, hohe Arbeitsfrequenz, einfache Struktur, zuverlässige Arbeit und lange Lebensdauer aus.