Geeignet für Hitachi KM11 Öldrucksensor EX200-2-3-5

Vier Drucktechnologien des Drucksensors

1. Kapazitiv

Kapazitive Drucksensoren werden normalerweise von einer großen Anzahl von OEM -professionellen Anwendungen bevorzugt. Durch die Erkennung von Kapazitätsänderungen zwischen zwei Oberflächen ermöglicht es diesen Sensoren, extrem niedrigen Druck und Vakuumspiegel zu erfassen. In unserer typischen Sensorkonfiguration besteht ein kompaktes Gehäuse aus zwei eng verteilten, parallelen und elektrisch isolierten Metalloberflächen, von denen eine im Wesentlichen ein Zwerchfell ist, das sich unter Druck leicht beugen kann. Diese fest festgelegten Oberflächen (oder Platten) werden so montiert, dass die Biegung der Baugruppe die Lücke zwischen ihnen ändert (tatsächlich bildet tatsächlich einen variablen Kondensator). Die resultierende Änderung wird durch einen empfindlichen linearen Vergleichskreis mit (oder ASIC) erfasst, der ein proportionales hochgradiges Signal verstärkt und ausgibt.

2. CVD -Typ

Chemische Dampfablagerung (oder "CVD") Herstellungsmethoden Bindungen Polysiliciumschicht an Edelstahlmembran auf molekularer Ebene, wodurch Sensor mit ausgezeichneter Langzeitdriftleistung erzeugt wird. Häufige Batch -Verarbeitungs -Halbleiter -Herstellungsmethoden werden verwendet, um Polysilicon -Dehnungsmessgeräte mit hervorragender Leistung zu einem sehr vernünftigen Preis zu erstellen. Die CVD -Struktur hat eine hervorragende Kostenleistung und ist der beliebteste Sensor in OEM -Anwendungen.

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Sputterfilmablagerung (oder "Film") kann einen Sensor mit maximal kombinierter Linearität, Hysterese und Wiederholbarkeit erzeugen. Die Genauigkeit kann bis zu 0,08% der vollständigen Skala betragen, während die langfristige Drift jedes Jahr nur 0,06% der vollständigen Skala beträgt. Die außergewöhnliche Leistung von wichtigen Instrumenten-unserem Sputter-Dünnfilm-Sensor ist ein Schatz in der Druckerfassungsindustrie.

4.MMS -Typ

Diese Sensoren verwenden Mikromaschine Siliziummembran (MMS), um Druckänderungen zu erfassen. Das Siliziummembran wird durch die ölgefüllten 316SS aus dem Medium isoliert und reagieren in Reihe mit dem Prozessflüssigkeitsdruck. Der MMS -Sensor übernimmt eine gemeinsame Halbleiterherstellungstechnologie, die in einem kompakten Sensorpaket eine hohe Spannungswiderstand, eine gute Linearität, eine hervorragende thermische Schockleistung und Stabilität erzielen kann.