Gilt für den Kraftstoff-Common-Rail-Drucksensor 06E906051K des Passat

1. Verfahren zur Bildung eines Drucksensors, umfassend:

Bereitstellen eines Halbleitersubstrats, wobei eine erste dielektrische Zwischenschicht, eine erste dielektrische Zwischenschicht und eine zweite dielektrische Zwischenschicht auf dem Halbleitersubstrat gebildet werden.

Eine untere Elektrodenplatte in der ersten dielektrischen Zwischenschicht, eine erste gemeinsame Elektrode, die auf derselben Schicht wie die untere Elektrodenplatte angeordnet und voneinander beabstandet ist.

Verbindungsschichten;

Bildung einer Opferschicht über der unteren Polarplatte;

Bilden einer oberen Elektrodenplatte auf der ersten dielektrischen Zwischenschicht, der ersten Verbindungsschicht und der Opferschicht;

Nach der Bildung der Opferschicht und vor der Bildung der oberen Platte in der ersten Verbindungsschicht

Bilden einer Verbindungsnut und Füllen der Verbindungsnut mit der oberen Platte, um eine elektrische Verbindung mit der ersten Verbindungsschicht herzustellen;Oder,

Nach dem Formen der oberen Elektrodenplatte werden Verbindungsnuten in der oberen Elektrodenplatte und der ersten Verbindungsschicht gebildet

Bilden einer leitenden Schicht, die die obere Elektrodenplatte und die erste Verbindungsschicht in der Verbindungsnut verbindet;

Nach dem elektrischen Verbinden der oberen Platte und der ersten Verbindungsschicht wird die Opferschicht entfernt, um einen Hohlraum zu bilden.

2. Verfahren zur Bildung eines Drucksensors nach Anspruch 1, wobei in der ersten Schicht

Das Verfahren zur Bildung der Opferschicht auf der dielektrischen Zwischenschicht umfasst die folgenden Schritte:

Abscheiden einer Opfermaterialschicht auf der ersten dielektrischen Zwischenschicht;

Strukturieren der Opfermaterialschicht, um eine Opferschicht zu bilden.

3. Verfahren zur Bildung des Drucksensors nach Anspruch 2, wobei Photolithographie und Gravur verwendet werden.

Die Opfermaterialschicht wird durch einen Ätzprozess strukturiert.

4. Verfahren zur Bildung eines Drucksensors nach Anspruch 3, wobei die Opferschicht

Das Material ist amorpher Kohlenstoff oder Germanium.

5. Verfahren zur Bildung eines Drucksensors nach Anspruch 4, wobei die Opferschicht

Das Material ist amorpher Kohlenstoff;

Zu den beim Ätzen der Opfermaterialschicht verwendeten Ätzgasen gehören O2, CO, N2 und Ar;

Die Parameter beim Ätzen der Opfermaterialschicht sind: Der Durchflussbereich von O2 beträgt 18 SCCM ~ 22 SCCM und der Durchfluss von CO beträgt 10 %.

Die Durchflussrate reicht von 90 SCCM bis 110 SCCM, die Durchflussrate von N2 reicht von 90 SCCM bis 110 SCCM und die Durchflussrate von Ar.

Der Bereich beträgt 90 SCCM ~ 110 SCCM, der Druckbereich beträgt 90 mtor ~ 110 mtor und die Vorspannungsleistung beträgt

540 W ~ 660 W.